防静电工作区技术要求国家标准

防静电工作区技术要求GJB3007–97

1范围

　　1．1主题内容

　　本标准规定了供操作静电放电敏感电子产品用的防静电工作区应具备的各项技术要求。

　　1．2适用范围

　　本标准适用于防静电工作区。

　　1．3应用指南

　　由于电子产品的静电放电敏感度不同和防静电工作区具体用途以及结构形式的差异，本标准规定的内容和要求允许剪裁。

　　1．4分级

　　按照防静电工作区内的指定空间所允许的对地静电电位值，将防静电工作区分为二级。

　　A级——允许的对地静电电位不超过±100V；

　　B级——允许的对地静电电位不超过±1000V；

　　2引用文件

　　GB438——1995防静电鞋、导电鞋技术要求

　　GB12014——89防静电工作服

　　GJB/Z25——91电子设备和设施的接地、搭接和屏蔽设计指南

　　GJB1649——93电子产品防静电放电控制大纲

　　SJ/T10694——1996电子产品制造防静电系统测试方法

　　3定义

　　3．1术语

　　3．1．1防静电工作区electrostatic discharge protected area

　　配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所。

　　3．1．2操作handling

　　在静电放电敏感电子产品的制造、老化、筛选、检测、装联、包装、贮存、修理和失效分析等过程中，直接或间接地作用于产品的有效活动。

　　3．1．3接地grounding

　　电子连接到能供给或接受大量电荷的物体（如大地、舰船或运载工具外壳等）（见GJB1649第3.1.2条）。

　　3．1．4硬接地hardground

　　直接与大地电极作导电性连接的一种接地方式。

　　3．1．5软接地softground

　　通过一足以限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。

　　3．1．6大地电极earthelectrode

　　埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。它可以是杆状的、板状的或网状的，为接地系统提供接大地的基准点。

　　3．1．7静电耗散材料dissipative materials

　　其表面电阻率等于或大于1x105Ω/，但小于1x1012Ω/；或何种电阻率等于或大于1x104Ω·cm，但小于1x1011Ω/·cm的材料。

　　3．1．8导（静）电材料（electrostatic）conductive materials

　　其表面电阻率小于1x105Ω/或体积电阻率小于1x104Ω·cm的材料。

　　3．2缩写词

　　3．2．1 ESD electrostatic discharge sensitive静电放电。

　　3．2．2 ESDS electrostatic discharge sensitive静电放电敏感（的）。

　　3．2．3 EPA electrostatic discharge protected area防静电工作区。

　　3．2．4 EBP earth bonding point接地连接点。

　　4一般要求

　　4．1静电放电敏感符号

　　静电放电敏感符号的式样、颜色和尺寸以及其简化符号式样，应符合GJB1469附录C（补充件）的规定。

　　4．2EPA标记符号

　　EPA标记符号式样如图1所示，其最小尺寸为300mm×150mm。标记颜色一般采用黄底黑色，应避免使用红色。在图中*处应标出级别代码（A或B）。


　　4．3接地连接点符号

　　EPA内的接地连接点符号式样如图2所示，其尺寸的大小应能够在普通照明条件下用肉眼清楚辨认。标记颜色一般采用黄底黑色，应避免使用红色。

　　
　　5详细要求

　　5．1静电电位

　　如无另外规定，EPA内的静电电位应满足下列要求，即在任何情况下，在EPA内贮存，使用或接受加工的未带ESD外防护的ESDS产品周围300mm空间之内任一物体的静电电位不得超过该级EPA允许的对地静电电位值。

　　使用准确度优于±10%的非接触式静电伏特计进行测量。

　　5．2构造形式

　　EPA的构造形式因其具体用途而定。可以是下述场所之一或其组合：

　　a.一个操作工作台；

　　b.一个库房；

　　c.一个加工操作间；

　　d.一个工作机房；

　　e.一个活动的或固定的工作站；

　　f.一个维修工作现场。

　　无论属于哪一种构造形式，它都必须是一个具有明确划定边界（例如，在一宽大的厂房内可使用宽度为50mm的黄色警示标志线，将防静电工作区划定）的场所，并具有为完成其功能所必需的仪器、设备和器材。

　　5．3标记

　　5．3．1EPA专用标记

　　应在EPA入口处附近的明显位置（例如门的上方或门对面的壁上）贴有符合4.2条规定的标记，标记的尺寸大小与EPA的规模相称。

　　5．3．2接地标记

　　在EPA内设置的供接地用的连接点，并没有做处第4.3条规定的标记。

　　5．3．3ESDS产品标记

　　在EPA内接受加工、装联或在EPA内进行包装、贮存的ESDS产品，在产品和内包装上应标志符合第4.1条或相应的产品规范规定的静电放电敏感符号标记。

　　5.4气候与环境条件

　　5.4.1温度

　　EPA内应装设有温度调节装置,以维持其室温在15~35℃的范围内.采用准确度优于±0.5℃的温度计测量EPA内的湿度,并在每日的同一时间测量和记录一次。

　　5．4．2湿度

　　EPA内应装设有湿度度调节装置,以维持其室内相对湿度在45%~75%范围内。采用准确度优于±2%的湿度计测量EPA内的湿度,并在每日的同一时间测量和记录一次。

　　5．4．3气压

　　EPA内大气压力应在86~106kpa范围内。不能满足上述要求时，应采取调压措施。

　　5．4．4静电消除器

　　在工作台面上方的适当部位或其他必要部位，应装设静电消除器，以消除未打开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其他物品相互摩擦在工作上所产生的静电荷静电消除器应能消除任何一种极性的电荷，并在其有效防护区域内使静电位保持在规定值以内，中和能力应优于±250V/s。

　　5．4．5洁净度（必要时）

　　需使用洁净环境的EPA加工场所，厂房空气洁净级别按有关工艺设计文件规定。

　　5．5接地

　　EPA应具备满足其使用功能要求的防静电接地分系统，并通过大地电极分系统接到大地。此外，EPA通常还需设置若干其他接地分系统，例如雷电保护、故障保护、信号、参考等分系统。这些接地分系统的作用、配置、安装方法接地电阻要求及测量方法等，参见GJB/Z25第5~9章。

　　5．5．1防静电接地分系统

　　EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地坪防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等。除个别指明需采用硬接地者外，一般采用软接地方式，其接地电阻可由外接电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。各种防静电接地的接地电阻要求见5.6条。

　　5．5．2接地安装注意事项

　　5．5．2．1防静电接地分系统可利用故障保护地线或信号参考地线（直流工作地线）作为接地母线。

　　5．5．2．2不允许交流线路的走线与直线地线紧贴或平行铺设，以防以直流信号造成干扰。

　　5．5．2．3各接地分系统的连线之间应当相互隔离，为此应使用带绝缘外皮的导线。

　　5．5．2．4各接地干线之间的连接应采用钎焊、熔焊或压力连接件、卡箍等进行搭接连接。

　　5．5．2．5防静电工具、装置等接地端子允许使用易于装拆的各种夹式连接器，例如鳄鱼夹、插头座等，但应确保电气连接可靠。

　　5．5．2．6防静电工作台和装置、设备等的故障保护地线应采用最小截机积不小于1.25mm2的多股敷塑导线，外皮颜色为黄绿色。

　　5.6各种器材、用具的静电性能

　　5.6.1ESD防护工作台面

　　除非制造工艺要求需要使用导（静）电工作台面，EPA内的ESD防扩工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm×600mm。ESD防护工作台面的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的图7，测量电表的一端接到腕带接地插孔上，另一个电极距此0.9m，测量5个点（测量电极以0.9m为半径的绕接地插孔旋转移动），取其平均值。表面（点对点）电阻测量原理按SJ/T106409的图6a，二测试电极相距0.9m，共测量5组数据取平均值。测量时一个电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动。

　　表1EPA内各种器材的静电性能要求 5.6.2ESD防护地板、地垫