| 低压力动作型单向阀/CVLU | | 动作压力从10kpa~5kpa | | ■低浓度臭氧对策产品
橡胶材质采用HNBR和FKM。
■比较从前产品减少负离子产生。
内部构造部件不使用弹簧。
■树脂型低成本，轻量化。 |
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| 低压动作单向阀PP材质类型/PCVLU | | 可以使用水（液体！本体材质：PP，最适合于无尘车间） | | ■对铜系金属不使用，低浓度臭氧对策，无润滑油等有要求的产业最适合。
采用金属部材质 SUS304/橡胶材质 阀门密封圈：FKM,弹性套：EPDM(可以选配KFM,NBR类型）。
■树脂本体颜色为半透明，可以方便确认流体（液体）
卫生方面也很容易确认到。
■动作压力从5kpa开始。
低压动作型，可以实现在使用之前产品无法实现动作的压力下确保通畅的流量。
■构造零件不使用弹簧，对比之前产品有效降低异响发生。
■为客户准备了2种外包装形式
通常型和可以选择在无尘室内（ISO class6)使用无尘空气清洁后包装型。 |
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流量传感器/FUS20 |
| 对流量管理有要求及用压力传感器比较难以确认的小型工件吸着情况下推荐使用。 |
| ■调整阀门一体系
流量调整旋钮和传感器一体化。省去配管安装环节，节省空间。
■面板安装可能
丰富了面板安装用支架种类。
■2种表示/2种颜色表示机能
■可以设定主画面和辅助画面，提高操作性能，采用双颜色显示，对异常情况判断一目了然。
■高精度实现+3%F.S.，可以正确测量流量。
■高速应答50msec以下。
■采用适用于微型加工设备的白金传感器芯片，实现高速应答反应。 |
| 真空泵系统对应单元VIP | | 贡献于消减工件吸着搬送的压缩空气消费量 | | ■选配流量传感器的搭载，小型的工件吸着状态也可以得到确认。
在流量传感器搭载型基础上进行升级（史上最初开发）。之前使用的压力传感器搭载型和无传感器型也继续使用。
半导体关联装置（贴片机，？）和吸着搬送小型工件装置更加适合使用。
■可以实现超小型大流量真空切换（本公司最小型！高61.3mm,深56.8mm)
供给80kpa时，达到8.5L/min(ANR)以上。
■真空破坏空气流量调整方法选择也变为可能。
除了带真空破坏空气流量调整螺丝型之外，低成本的真空破坏空气流量固定型（0.5kpa供给时,9.5L/min(ANR)以上。 |
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